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　　熱破壞法對于濃度較低的有機廢氣處理效果比較好，因此，在處理低濃度廢氣中得到了廣泛應(yīng)用。這種方法主要分為兩種，即直接火焰燃燒和催化燃燒。直接火焰燃燒對有機廢氣的熱處理效率相對較高，一般情況下可達到 99%。而催化燃燒指的是在催化床層的作用下，加快有機廢氣的化學反應(yīng)速度。這種方法比直接燃燒用時更少，是高濃度、小流量有機廢氣凈化的首選技術(shù)。

　　RTO蓄熱式焚燒爐

　　排放自工藝含VOCs的廢氣進入雙槽RTO，三向切換風閥(POPPETVALVE)將此廢氣導(dǎo)入RTO的蓄熱槽(EnergyRecoveryChamber)而預(yù)熱此廢氣，含污染的廢氣被蓄熱陶塊漸漸地加熱后進入燃燒室(CombustionChamber)，VOCs在燃燒室被氧化而放出熱能于第二蓄熱槽中之陶塊，用以減少輔助燃料的消耗。陶塊被加熱，燃燒氧化后的干凈氣體逐漸降低溫度，因此出口溫度略高于RTO入口溫度。三向切換風閥切換改變RTO出口/入口溫度。如果VOCs濃度夠高，所放出的熱能足夠時，RTO即不需燃料。例如RTO熱回收效率為95%時，RTO出口僅較入口溫度高25℃而已。

　　蓄熱式催化劑焚燒爐(RCO)

　　排放自工藝含VOCs的廢氣進入雙槽RCO，三向切換風閥(POPPETVALVE)將此廢氣導(dǎo)入RCO的蓄熱槽(EnergyRecoveryChamber)而預(yù)熱此廢氣，含污染的廢氣被蓄熱陶塊漸漸地加熱后進入催化床(CatalystBed)，VOCs在經(jīng)催化劑分解被氧化而放出熱能于第二蓄熱槽中之陶塊，用以減少輔助燃料的消耗。陶塊被加熱，燃燒氧化后的干凈氣體逐漸降低溫度，因此出口溫度略高于RCO入口溫度。三向切換風閥切換改變RCO出口/入口溫度。如果VOCs濃度夠高，所放出的熱能足夠時，RCO即不需燃料。例如RCO熱回收效率為95%時，RCO出口僅較入口溫度高25℃而已。

　　催化劑焚燒爐CatalyticOxidizer

　　催化劑焚燒爐的設(shè)計是依廢氣風量，VOCs濃度及所需知破壞去除效率而定。操作時含VOCs的廢氣用系統(tǒng)風機導(dǎo)入系統(tǒng)內(nèi)的換熱器，廢氣經(jīng)由換熱器管側(cè)(Tubeside)而被加熱后，再通過燃燒器，這時廢氣已被加熱至催化分解溫度，再通過催化劑床，催化分解會釋放熱能，而VOCs被分解為二氧化碳及水氣。之后此一熱且經(jīng)凈化氣體進入換熱器之殼側(cè)(shellside)將管側(cè)(tubeside)未經(jīng)處理的VOC廢氣加熱，此換熱器會減少能源的消耗，最后，凈化后的氣體從煙囪排到大氣中。

　　直燃式焚燒爐的設(shè)計是依廢氣風量，VOCs濃度及所需知破壞去除效率而定。操作時含VOCs的廢氣用系統(tǒng)風機導(dǎo)入系統(tǒng)內(nèi)的換熱器，廢氣經(jīng)由換熱器管側(cè)(Tubeside)而被加熱后，再通過燃燒器，這時廢氣已被加熱至催化分解溫度(650~1000℃)，并且有足夠的留置時間(0.5~2.0秒)。這時會發(fā)生熱反應(yīng)，而VOCs被分解為二氧化碳及水氣。之后此一熱且經(jīng)凈化氣體進入換熱器之殼側(cè)(shellside)將管側(cè)(tubeside)未經(jīng)處理的VOC廢氣加熱，此換熱器會減少能源的消耗(甚至于某適當?shù)腣OCs濃度以上時便不需額外的燃料)，最后，凈化后的氣體從煙囪排到大氣中。

　　直接燃燒焚燒爐DirectFiredThermalOxidizer-DFTO

　　有時直接燃燒焚燒爐源于后燃燒器(After-Burner)，直接燃燒焚燒爐使用經(jīng)特別設(shè)計的燃燒器以加熱高濃度的廢氣到ㄧ預(yù)先設(shè)的溫度，于運轉(zhuǎn)時廢氣被導(dǎo)入燃燒室(BurnerChamber)。燃燒器將VOCs及有毒空氣污染物分解為無毒的物質(zhì)(二氧化碳及水)并放出熱，凈化后的氣體可再由一熱回收系統(tǒng)以達節(jié)能的需求。

　　濃縮轉(zhuǎn)輪/焚燒爐RotorConcentrator/Oxidizer

　　濃縮轉(zhuǎn)輪/焚燒爐系統(tǒng)吸附大風量低濃度揮發(fā)性有機化合物(VOCs)。再把脫附后小風量高濃度廢氣導(dǎo)入焚燒爐予以分解凈化。大風量低濃度的VOCs廢氣，通過一個由沸石為吸附材料的轉(zhuǎn)輪，VOCs經(jīng)被轉(zhuǎn)輪吸附區(qū)的沸石所吸附后凈化的氣體經(jīng)煙囪排到大氣，再于脫附區(qū)中用180℃~200℃的小量熱空氣，將VOCs予以脫附。如此一高濃度小風量的脫附廢氣在導(dǎo)入焚燒爐中予以分解為二氧化碳及水氣，凈化的氣體經(jīng)煙囪排到大氣。這一濃縮的工藝大大地降低燃料費用。

　　氯化有機物催化劑焚燒爐

　　氯化有機物催化劑焚燒爐(ChlorinatedCatalyticOxidizer)系統(tǒng)依風量，污染物種類及所需去除效率而設(shè)計。

　　在運行操作時，含VOCs的廢氣經(jīng)氯化有機物催化劑焚燒爐風機抽到系統(tǒng)換熱器中。廢氣通過換熱器的管側(cè)，再到燃燒機，此處將廢氣加熱到催化劑反應(yīng)溫度。含VOCs廢氣通過特制的抗鹵化物毒化的催化劑，轉(zhuǎn)化成二氧化碳，水氣并放出熱。這熱凈化的氣體通過換熱器的殼側(cè)，將熱能加熱浸入系統(tǒng)的廢氣，如此可以將燃料費用降到最小，在許多時候，如VOCs濃度夠高，可以不需額外燃料系統(tǒng)即可自行運轉(zhuǎn)。最后如有需要，可裝設(shè)恩國洗滌塔以去除無機酸(如HCL，CL2，HBr，Br2等)。

　　氯化氫套裝洗滌塔(HCLScrubberModule)，氯化氫套裝洗滌塔出口含HCL或CL2的氣體導(dǎo)入氯化氫套裝洗滌塔中的驟冷塔，循環(huán)汞噴注大量的水進入用超合金(Hastelloy)材質(zhì)的驟冷塔(quenches)。這時水會把熱廢氣降溫并將部分的氯化氫予以吸收，之后經(jīng)一氣道進入逆流式的吸收塔。循環(huán)吸收溶液從吸收塔頂部的噴嘴噴灑而下，將剩余的氯化氫充份吸收，然后通過一除水層把水滴去除，再排到大氣。